日本HEPHAIST精工株式会社生产UVW,XYZ,XYR,XYRZ,等工作台，同时兼容超薄型简单构造和高刚性在同一平面上配置三个执行器，实现了超薄型简单构造。此外，“预压式双滑动构造(已取得专利) ”对推力(垂直方向负荷)刚性、力矩负荷很强，防止由于偏负荷造成的台面变形和隆起。 高精度的定位 “预压式双滑动”承载负荷，执行器不直接承载负荷。因此可以得到不受负荷变化影响的稳定的精度。 自由设定旋转中心，可以以任意坐标点为中心使工作台旋转。
适用场合：半导体制造设备、检测设备、LCD、PDP、丝网印刷机、PCB印刷，液晶显示器设备，激光设备等
NAF3工作台（标准产品）
超薄结构
结构图
同时兼容超薄型简单构造和高刚性在同一平面上配置三个执行器，实现了超薄型简单构造。此外，“预压式双滑动构造(已取得专利) ”对推力(垂直方向负荷)刚性、力矩负荷很强，防止由于偏负荷造成的台面变形和隆起。 高精度的定位 “预压式双滑动”承载负荷，执行器不直接承载负荷。因此可以得到不受负荷变化影响的稳定的精度。 自由设定旋转中心台面，可以以任意坐标点为中心使台面旋转。
動作原理
同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動作させることにより、様々なテーブル動作が可能になります。
製品仕様
| |
項目 |
NAF3C-10 |
NAF3C-16
(短納期対応可) |
NEW
NAF3C-20 |
| 機械仕様 |
ストローク |
X軸:±2mm
Y軸:±2mm
θ軸:±2° |
X軸:±3mm
Y軸:±3mm
θ軸:±3° |
X軸:±3mm
Y軸:±3mm
θ軸:±3° |
| テーブルサイズ |
100mm x 100mm |
160mm x 160mm |
200mm×200mm |
| ベースサイズ |
120mm x 120mm |
170mm x 170mm |
220mm x 220mm |
| 高さ |
35mm |
45mm |
65mm |
| モータ |
ステッピングモータ
（□20mm） |
ステッピングモータ
（□24mm） |
ステッピングモータ
（口42mm） |
| ステージ材質 |
鉄-低温黒色クロム処理
アルミ-黒アルマイト処理 |
| 質量 |
2.2kg |
6kg |
14kg |
精度
仕様 |
分解能(出荷時設定) |
0.2μm/pulse |
| 繰返し位置決め精度 |
±1.0μｍ以内 |
±0.7μｍ以内 |
±1μｍ以内 |
| ロストモーション |
3.0μｍ以内 |
2.0μｍ以内 |
2.0μｍ以内 |
静止時負荷容量
(垂直方向等分布荷重) |
50Ｎ |
500Ｎ |
1000Ｎ |
移動時負荷容量
(垂直方向等分布荷重) |
10Ｎ |
100Ｎ |
200Ｎ |
| 平行度 |
30μm |
|
項目 |
NEW
NAF3C-30 |
NAF3C-40 |
機械
仕様 |
ストローク |
X軸:±3mm
Y軸:±3mm
θ軸:±3° |
X軸:±3mm
Y軸:±3mm
θ軸:±3° |
| テーブルサイズ |
300mm x 300mm |
400mm×400mm |
| ベースサイズ |
320mm x 320mm |
400mm x 400mm |
| 高さ |
70mm |
80mm |
| モータ |
ステッピングモータ
（□42mm） |
サーボモータ
（50W） |
| ステージ材質 |
鉄-低温黒色クロム処理
アルミ-黒アルマイト処理 |
| 質量 |
44kg |
60kg |
精度
仕様 |
分解能(出荷時設定) |
0.2μm/pulse |
0.1μm/pulse |
| 繰返し位置決め精度 |
±1μｍ以内 |
±0.7μｍ以内 |
| ロストモーション |
2.0μｍ以内 |
静止時負荷容量
(垂直方向等分布荷重) |
2000Ｎ |
3000Ｎ |
移動時負荷容量
(垂直方向等分布荷重) |
400Ｎ |
500Ｎ |
| 平行度 |
30μm |
