表面粗糙度仪通过接触式探针或非接触式光学感应检测零件粗糙度，需遵循标准化流程，具体如下：

检测前，先校准设备，用标准粗糙度块修正仪器，确保偏差≤±10%，同时检查探针或镜头状态。零件需清洁表面油污杂质，用夹具固定，避免倾斜，环境温度控制在 (20±2)℃，湿度 40%-60%，远离振动源。

检测时，依据图纸选参数，如 Ra（通用）、Rz（密封面适用）。按 Ra 值设采样长度（如 Ra≤0.025μm 时取 0.08mm），评定长度为 5 倍采样长度。接触式仪器轻放探针，以 0.5-2mm/s 速度扫描；非接触式仪器对准焦距后扫描。同一区域重复检测 3 次，偏差≤15% 取平均值。

检测后，剔除异常数据，对比公差判合格与否，输出含设备、零件、参数、结果等信息的报告。

针对曲面零件，用专用探针并调扫描方向；沟槽零件选微型探针；软质零件调小探针压力或用非接触式仪器，保障检测精准。