一、SJ6000激光干涉仪的基本介绍 

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。 

二、SJ6000激光干涉仪的突出优势

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③ 可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

 三.SJ6000激光干涉仪技术参数

• 系统性能

• 测量方式：单频
• 稳频精度：0.05ppm
• 动态采集频率：50 kHz
• 预热时间：5-10分钟
• 工作温度范围：0~40℃
• 环境温度范围：0~40℃
• 存储温度范围：-20℃~70℃

• 环境补偿示值误差

• 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
• 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
• 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
• 大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

• 线性测量

• 测量距离：0-40m
• 测量精度：0.5ppm (0-40℃)
• 测量分辨率：1nm
• 测量最大速度：4m/sec

• 角度测量

• 轴向量程：0-15m
• 测量范围：±10°
• 测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
• 测量分辨率：0.1μm/m

• 直线度测量

• 轴向量程：0.1-4.0 m
• 测量范围：±2.5 mm
• 测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M² μm（M为光学镜移动距离，单位：m）
• 测量分辨率：0.01μm

• 垂直度测量

• 测量范围：±3/M mm/m
• 测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
• 测量分辨率：0.01μm/m

• 平面测量

• 轴向量程：0-15 m
• 测量范围：±1.5 mm
• 测量精度：±0.6% R±0.02 M² μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
• 测量分辨率：0.1μm

• 角度测量

• 角度测量范围：0-360°
• 精密转台角度增量：5°
• 精密转台分度精度：±1秒
• 精密转台重复性：0.2秒 

四.SJ6000激光干涉仪内置检验标准