产品功能
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪，主要用于微位移部件的测量、角度变化量的监测、移动平台运动情况的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等，最多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系测量检测物体的振动变化。
性能优势
l 真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别，众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l 全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上唯一一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l 采样频率更快，最高达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体最大速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。
l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l 信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，ZLM800型是理想的选择。
技术参数
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型号：ZLM800 |
使用高性能数据处理器AE950 PCI |
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He-Ne激光平均波长： |
632.8 nm |
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激光稳频精度： |
一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm） |
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系统精度（0-40℃时）： |
±0.4ppm |
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光束直径： |
6mm (可选3.2mm) |
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激光管突发最大输出功率： |
1mW (激光等级2) |
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每束光可测量的轴数： |
最多6个 |
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线性测量距离： |
40m，可扩展为120m |
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角度测量范围： |
± 15°，20m轴线范围 |
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平面度测量范围： |
20m行程 |
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直线度测量范围： |
± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程 |
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垂直度测量范围： |
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪 |
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最大速度： |
4m/s，可选16m/s
80rad/s，角速度 |
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最大加速： |
无限制 |
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最高采样频率： |
内部1MHz，外部40MHz |
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预热时间： |
10分钟 |
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精度/非线性： |
±0.3nm (角隅反射镜)
±0.1nm (平面反射镜) |
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距离测量分辨率： |
0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选 |
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距离测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时 |
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
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线性度测量分辨率： |
0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选 |
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线性度测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时 |
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
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速度测量精度： |
±0.5ppm实测值 |
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角度测量分辨率： |
0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
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角度测量精度： |
±0.1ppm实测值 |
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平面度测量分辨率： |
0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
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平面度测量精度： |
±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离 |
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直线度测量分辨率： |
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程 |
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直线度测量精度： |
±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程 |
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垂直度测量分辨率： |
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程 |
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垂直度测量精度： |
±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒* |
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数据接口： |
积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt » 20 ns |
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数据分析标准： |
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
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工作环境： |
温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝 |
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储存环境： |
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝 |
应用案例
以下是为中国科学院某项目设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用案例。在第一个案例中，用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动，实时测试两个摆镜对应量（俯仰、偏摆和位移）的差异情况。在第二个案例中，用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况，2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。
下述案例是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中，密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量，以及这两个目标在Z方向的相对变化量。
ZLM800部分光路图示例和部件示意图
